QUARTZ GLASS

MARUWAの石英ガラス製品は、厳選された高純度の材料を使用し、卓越した加工技術と徹底管理されたクリーン環境での生産体制を強みとしています。ますます大型化が進む半導体製造プロセス用途をはじめ、光ファイバー?ソーラーといった次世代製品の製造プロセス用石英チューブや石英ボートなど、お客様のニーズに応える製品を提供いたします。

MARUWA QUARTZについて

石英ガラス製品はMARUWA QUARTZが製造しています。

MARUWA QUARTZ

大口径チューブ製品など大型製品への対応

次世代の18インチ（450mm）を視野に、大口径旋盤やマシニング加工設備を導入し、12インチ（300mm）ウエハー向け炉心管など大型製品の製造技術を確立しています。

大口径旋盤
マシニング加工器

微細加工製品への対応

最新鋭のNC加工機による精密研削加工、細穴穿孔加工など精密微細加工技術を確立しています。
また、ガス導入管の細穴加工などレーザー加工機による任意曲線切断加工も可能です。

細管加工例
レーザー細穴加工例

クリーン環境での一貫生産

火加工以降のすべての工程をクリーン環境で行うことで、製品のコンタミネーション（汚染）発生を極限まで抑えています。特に、出荷検査?最終洗浄?減圧パッケージの工程はクラス1000以下の徹底したクリーン環境で行われ、汚染のない状態のまま納品することができます。

火加工工程
洗浄工程
洗浄工程

製品群一覧

石英ガラス製品は、お客様からの要望に基づくカスタムメイドです。
ご注文にあたり、仕様、納期の詳細について、お問い合わせフォームをご利用いただくか、最寄りの営業所までお問い合わせ下さい。

製品に関するお問い合わせ

最寄りの営業所

半導体分野

半導体製造プロセスの拡散CVD、洗浄、エッチングに至るまであらゆるプロセスに対応しています。
12インチ（300ｍｍ）以上の大型製品の製造にも対応しています。

チューブ製品
- プロセスチューブ
- アウターチューブ
- インナーチューブ
プロセス治具?エッチャー製品
- 石英ボート
- その他治具全般
- 各種チャンバー
- リング
洗浄関連製品
- オーバーフロー槽
- キャリア
- ガイド

化合物半導体分野

MO-CVDをはじめとする各プロセスに対応しています。
- チューブ型反応容器
- ボックス型反応容器
- 大型トレイ
光ファイバー分野

光ファイバー母材加工、バーナー、チャンバーなど各プロセスの石英製品に対応しています。
- 石英炉心管
- 石英多重管バーナー
- 光ファイバー母材細穴加工
- 各種石英チャンバー
ソーラー分野

シリコンウエハー用石英製品に対応しています。
- 石英チューブ
- 石英ボート